VOCs廢氣處理的工藝路線應根據(jù)廢氣產(chǎn)生量、污染物組分和性質(zhì)、溫度、壓力等因素，綜合分析后合理選擇：

1、對于5000ppm以上的高濃度VOCs廢氣，優(yōu)先采用冷凝、吸附回收等技術(shù)對廢氣中的VOCs回收利用，并輔以其他治理技術(shù)實現(xiàn)達標排放。

2、對于1000ppm～5000ppm的中等濃度VOCs廢氣，具備回收價值的宜采用吸附技術(shù)回收有機溶劑，不具備回收價值的可采用催化燃燒、RTO爐高溫焚燒等技術(shù)凈化后達標排放。當采用熱力焚燒技術(shù)進行凈化時，宜對燃燒后的熱量回收利用。

3、對于1000ppm以下的低濃度VOCs廢氣，有回收價值時宜采用吸附技術(shù)回收處理，無回收價值時優(yōu)先采用吸附濃縮一高溫燃燒、微生物處理、填料塔吸收等技術(shù)凈化處理后達標排放。

4、含惡臭類的氣體可采用微生物凈化技術(shù)、低溫等離子技術(shù)、吸附或吸收技術(shù)、熱力焚燒技術(shù)等凈化后達標排放，同時不對周邊敏感保護目標產(chǎn)生影響。

5、對含塵、含氣溶膠、高濕廢氣，在采用活性炭吸附、催化燃燒、RTO焚燒、低溫等離子等工藝處理前應先采用高效除塵、除霧等裝置進行預處理。

6、對于高溫焚燒過程中產(chǎn)生的含硫、氮、氯等的無機廢氣，以及吸附、吸收、冷凝、生物等治理工藝過程中所產(chǎn)生的含有機物的廢水，應處理后達標排放。廢吸附劑應按照相關(guān)管理要求規(guī)范處置，防范二次污染。

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